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石墨卷材絕對厚度的比較測量法
    問題關鍵在于消除噪聲及實現石墨卷材的在線測量。文中介紹的比較測量法,不是通常指的被測件與标準件的比較,而是一種求取差值,直接獲得石墨卷材絕對厚度的比較測量法,原理如圖1所示。在滾筒上有石墨卷材處和沒有石墨卷材處分别營造兩處狹縫,用激光衍射的方法測出兩處狹縫縫寬,其差值即是石墨卷材的厚度。
    圖1中,1和2分别代表标準刀口。在此以輸送石墨卷材滾筒的上母線作為下刀口,y和。:分别表示刀口1與滾筒形成的狹縫1和刀口2與石墨卷材形成的狹縫的縫寬。h是一已知的常量,為刀口1與刀口2的距離,則所求石墨卷材的厚度為:△。一y+h一。2(1)而狹縫可采用衍射的間隙計量法測出其大小。
    激光衍射的基本原理是利用激光束的夫朗和費衍射效應。夫朗和費衍射是一種遠場衍射,其原理如圖2所示,圖(a)示出當光源S照明E1平面上的一個孔H時在孔後放置一透鏡,在距離R的觀察屏E:上将看到點光源的像。按幾何光學的觀點,并設成像透鏡是理想的,點光源S在E:上的像S‘應成點像。但實際上點像擴大了,而且周圍還分布着亮度不大的圓環,這就是夫朗和費衍射。隻有當R ;d2/ a時,才能明顯地看到衍射圓環。實際上,基本的遠場衍射裝置如圖2 Cb)所示,即平行光照射E1上的孔H時,遠場衍射發生在無窮遠。用透鏡接收後,在透鏡的焦面上就能觀察到十分清晰的遠場衍射條紋。www.jnbxbbs.com
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